.

http://www.edubilim.com/ana




Ayrıntılar ATOMİK TABAKA EPİTAKSİSİ(Atomic Layer Epitaxy)
SahiplikDeğer
İsimATOMİK TABAKA EPİTAKSİSİ(Atomic Layer Epitaxy)
AçıklamaATOMİK TABAKA EPİTAKSİSİ(Atomic Layer Epitaxy)Atomik tabaka epitaksisi (ALE), kimyasal buhar biriktirme(CVD) yönteminin özel bir şekli olarak da düşünülebilir. Epitaksial filmlerin kontrollu gelişimini sağlamak amaçlı biriktirme ve katı alt malzeme yüzeyinde biçimlendirilmiş moleküler yapı oluşturma işlemidir. Tek atomlu tabakaların seri halde büyütülebilmesi  ALE’nin karakteristik özelliğidir. Bu yüzden istenen kaplama kalınlığı ancak  işlemdeki seri reaksiyonların sayımıyla elde edilebilir. Seri reaksiyonlarla oluşmuş tek katlı yapının yeniden  kurulması belirtinin doyurma mekanizmasını ve doyurma yoğunluğunu etkilemektedir. ALE reaksiyonları normalde “etkili aşırı dozlama “ durumlarında tek atomlu yapıyı oluşturmak için tam doyurma meydana gelmesini kesinleştirir. Bundan başka öylesi “etkili aşırı dozlama” durumları kompleks şekilli alt malzemeler üzerinde homojen bir kaplama yapılmasını sağlamaktadır. Ayrıca ALE’deki bu zincir gaz fazı reaksiyonlarını engellemekte ve reaktan madde seçiminde daha fazla olanak sağlamaktadır. (örnek; tuz benzeri, metalorganikleri vs...) ALE işlemi mükemmel homojenliğe sahip yüksek kalitedeki ince filmlerde biriktirmede kullanılabilmektedir.
Dosya AdıBağlantı atomiktabaka.zip
Dosya BoyutuLink
Dosya Tipizip (Mime Tipi: link)
Ekleyenadmin
Ekleme tarihi: 05.04.2008 19:34
İnceleyenlerHerkes
Kontrol EdenEditor
İndirme sayısı6 İndirme sayısı
En son güncelleme 05.04.2008 19:35
Anasayfa